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J-GLOBAL ID：200903077299157111

外観検査装置および外観検査方法

Inventor：
秋山 吉宏

About 秋山 吉宏


Applicant, Patent owner：
株式会社サキコーポレーション

About 株式会社サキコーポレーション


Agent (1)： 森下 賢樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000377876
Publication number (International publication number)：2002181729
Application date： Dec. 12, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：
【要約】【課題】 サイズの大きい基板の外観検査では、基板の画像が分割され、境界線では検査が難しかった。【解決手段】 2つのラインセンサ34A、34Bを主走査方向に設けた走査ヘッドを用いて、被検査物の画像を一部重複させて2枚撮影し、メモリ44に格納する。画像処理部45は2枚の画像の重複部分に含まれる複数の対象物を検出し、2枚の画像間でマッチングさせ、2枚の画像の任意の点の2次元的なずれを補間により求め、2枚の画像を貼り合わせて合成する。解析ユニット46は合成された画像を所定の合否判断基準に照らし、検査項目ごとに合否を判定する。
Claim (excerpt)：
被検査物の画像を一部重複させて撮影する工程と、撮影された画像の重複部分に含まれる参照情報を検出する工程と、前記参照情報をもとに前記画像の貼り合わせ情報を取得する工程と、貼り合わせの結果一枚となった画像をもとに所定の検査をする工程とを含む外観検査方法。
IPC (6)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 3/00 400 ,  H04N 1/19 ,  H05K 3/00
FI (7)：
G01N 21/956 B ,  G06T 1/00 305 B ,  G06T 3/00 400 J ,  H05K 3/00 Q ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K ,  H04N 1/04 103 A
F-Term (51)：
2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065PP02 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR03 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC01 ,  2G051BA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051ED15 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA13 ,  5B057CA11 ,  5B057CA16 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE10 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33 ,  5C072AA01 ,  5C072BA20 ,  5C072DA02 ,  5C072DA05 ,  5C072EA05 ,  5C072FA07 ,  5C072FB02 ,  5C072FB03 ,  5C072UA12 ,  5C072XA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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