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J-GLOBAL ID：200903077322972707

透明材料内部の処理方法およびその装置

Inventor： 杉岡 幸次 ,  チェン・ヤ ,  緑川 克美 ,  四方山 和彦
Applicant, Patent owner： 理化学研究所 ,  HOYAフォトニクス株式会社
Agent (1)： 上島 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002150541
Publication number (International publication number)：2003340588
Application date： May. 24, 2002
Publication date： Dec. 02, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】数mm以上のワーキングディスタンスをとることのできる開口数の比較的小さい集光レンズを用いてフェムト秒レーザー光を透明材料内部に集光するようにしても、集光位置における改質形状や加工形状などの処理形状として、真球に近い処理形状、換言すれば、フェムト秒レーザー光のビームの進行方向に平行する方向の断面の形状が真円に近いものを得ることができるようにする。【解決手段】複数のフェムト秒レーザー光Lをそれぞれレンズに入射し、上記レンズにより上記複数のフェムト秒レーザー光をそれぞれの光軸がそれぞれ所定の角度を有するようにして透明材料100の内部に集光し、上記複数のフェムト秒レーザー光の集光位置を上記透明材料の内部で重ね合わせ、上記重ね合わせた集光位置に集光した上記複数のフェムト秒レーザー光の作用により上記透明材料の内部を処理する。

Claim (excerpt)：

複数のフェムト秒レーザー光をそれぞれレンズに入射し、前記レンズにより前記複数のフェムト秒レーザー光をそれぞれの光軸がそれぞれ所定の角度を有するようにして透明材料の内部に集光し、前記複数のフェムト秒レーザー光の集光位置を前記透明材料の内部で重ね合わせ、前記重ね合わせた集光位置に集光した前記複数のフェムト秒レーザー光の作用により前記透明材料の内部を処理する透明材料内部の処理方法。

F-Term (7)：

4E068CA01 ,  4E068CA03 ,  4E068CA05 ,  4E068CA09 ,  4E068CD02 ,  4E068CE01 ,  4E068DB13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ホログラムの製造方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-312715   Applicant：科学技術振興事業団