複屈折測定法及びそれを用いた複屈折測定装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：西山恵三 , 内尾裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005171004
Publication number (International publication number)：2006023295
Application date： Jun. 10, 2005
Publication date： Jan. 26, 2006
Summary：

【課題】複屈折測定において、広い測定面を一度に測定し測定の高速化をし、且つ高精度での定量的な測定を行う。【解決手段】本発明の複屈折測定方法は、光源からの光束を拡散板により実質的に均一にし、且つ円偏光とした上で被検物に照射し、前記被検物を透過した光束について直線偏光板を回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第1の画像とし、前記被検物を挿入せずに前記直線偏光板を同じ回転幅で回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第2の画像とし、画素毎に第1の画像と第2の画像を比較することで、前記被検物の複屈折量と光学軸を測定面内の複数箇所で求める複屈折測定方法において、少なくとも第1及び第2の画像についてCCDカメラの輝度信号から光強度に変換し、前記被検物の透過率と被検物を照射する光束の偏光度と消光比を基に補正処理を行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光源からの光束を拡散板により実質的に均一にし、且つ円偏光とした上で被検物に照射し、前記被検物を透過した光束について直線偏光板を回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第1の画像とし、前記被検物を挿入せずに前記直線偏光板を同じ回転幅で回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第2の画像とし、画素毎に第1の画像と第2の画像を比較することで、前記被検物の複屈折量と光学軸を測定面内の複数箇所で求める複屈折測定方法において、少なくとも第1及び第2の画像についてCCDカメラの輝度信号から光強度に変換し、前記被検物の透過率と被検物を照射する光束の偏光度と消光比を基に補正処理を行うことを特徴とする複屈折測定方法。

IPC (1)：

G01N 21/23

FI (1)：

G01N21/23

F-Term (20)：

2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ02 , 2G059JJ17 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ26 , 2G059KK04 , 2G059LL04 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059MM04 , 2G059MM14 , 2G059NN05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特許第3292173号
特開昭63-269045号公報
複屈折分布測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-301443 Applicant：中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所, 富士電機株式会社

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