Pat
J-GLOBAL ID：200903077423010060

マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置

Inventor：
松島 勝

About 松島 勝

, 
梅村 馨

About 梅村 馨

, 
富松 聡

About 富松 聡

, 
小池 英巳

About 小池 英巳


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999056602
Publication number (International publication number)：2000251820
Application date： Mar. 04, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】真空装置内でプローブを操作するマニピュレータにおいて、プローブ交換時における装置の停止時間を短縮し、装置稼働率を向上させるマニピュレータを提供する。【解決手段】装置本体の真空チャンバからプローブを出し入れする際に、真空チャンバ1を大気開放することなく行える真空導入機構を設ける。具体的には、真空チャンバ1にエアロック室3を設け、このエアロック室3を、本体の真空チャンバ1と真空ベローズ2で接続する。エアロック室3にはプローブホルダ5を取り付け、本体に設けた移動機構7によりエアロック室3ごとプローブ4を移動する。エアロック室3は排気ポート9から真空排気を可能とし、エアロック室3と真空チャンバ1の間を真空バルブ8で仕切る。プローブ4はエアロック室3と真空チャンバ1の間を移動できるよう、第二の移動機構10を設ける。
Claim (excerpt)：
針状部材と、該針状部材を真空容器内で移動させるための移動手段からなるマニピュレータであって、該針状部材は、該真空容器を大気開放することなしに、該真空容器からの出し入れを可能とする真空導入手段を具備することを特徴とするマニピュレータ。
IPC (6)：
H01J 37/20 ,  B25J 7/00 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28
FI (6)：
H01J 37/20 Z ,  B25J 7/00 ,  G01N 1/32 B ,  G01R 1/06 E ,  G01N 1/28 G ,  G01R 31/28 K
F-Term (36)：
2G011AA02 ,  2G011AA12 ,  2G011AB01 ,  2G011AC01 ,  2G011AC02 ,  2G011AC06 ,  2G011AC12 ,  2G011AC21 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G032AF02 ,  2G032AF04 ,  2G032AF05 ,  2G032AF08 ,  2G032AG01 ,  2G032AH07 ,  2G032AK03 ,  2G032AL02 ,  3F060AA00 ,  3F060AA09 ,  3F060BA10 ,  3F060EB05 ,  3F060GA01 ,  3F060GA11 ,  3F060HA00 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC07 ,  9A001BB05 ,  9A001BB06 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05 ,  9A001LL08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM