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J-GLOBAL ID：200903077486269926
液晶表示装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995052297
Publication number (International publication number)：1996248442
Application date： Mar. 13, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：
【要約】【構成】 Al、Au、Cu、Ag、Ptのうちの少なくとも一種の第1の金属を主体としTi,Zr,Hf,Alを代表とする易窒化金属の第2の金属を添加してなる導電層20a、20b表面を、第2の金属の窒化物層21a、21bで被覆してなる配線層を使用した液晶表示装置。【効果】 アドレス線やTFTのゲート電極線の低抵抗化が図られ、さらに製造工程における薬品処理に対する高耐性および基板との良密着性が得られ、配線層の断線が抑えられる。
Claim (excerpt)：
一対の基板と、これら基板間に挟持される液晶層と、前記基板の前記液晶層側の表面に形成される電極および前記電極に電気的に接続され前記基板の表面に配設される配線層とを具備する液晶表示装置において、少なくとも前記配線層がCu、Al、Ag、Au、Ptから選ばれた少なくとも一種の第1の金属を主体にし、Ti、Zr、Hf、Al、Ta、Si、Bから選ばれた少なくとも一種の第2の金属を添加してなる導電層と、この導電層の表面を被覆する、前記第2の金属の窒化物層とを有することを特徴とする液晶表示装置。
IPC (4)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1333 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, G02F 1/1333 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/78 612 C
Cited by examiner (9)
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