Pat

J-GLOBAL ID：200903077689563200

光ファイバープローブ及びその製造方法

Inventor： 物部 秀二 ,  大津 元一
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996236786
Publication number (International publication number)：1998082791
Application date： Sep. 06, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】 光の透過効率を十分に確保しながら、開口径の微小化が図れる光ファイバープローブを獲得し、そのような光ファイバープローブを用いることによって近接場光学顕微鏡技術における分解能と感度を改善する。【解決手段】 光ファイバープローブの先端部を3段階の傾斜角α,β,γで先鋭化する。このような光ファイバープローブの先端形状は、化学エッチングを用い、ファイバーを構成するコアやクラッドの溶解速度を制御することで容易に得ることができる。

Claim (excerpt)：

コアの周りにクラッドが設けられてなる光ファイバーよりなり、その一端に、傾斜角を3段階に変化させて先鋭化された先鋭部を有することを特徴とする光ファイバープローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 ,  G02B 6/10

FI (3)：

G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z ,  G02B 6/10 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ファイバ製プローブ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-185132   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 多重直径を有するファイバープローブ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-315400   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• パターン化反応イオンエッチングを用いたファイバープローブ装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-315401   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション