ウエハ保護用粘着シート

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996111609
Publication number (International publication number)：1997298173
Application date： May. 02, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】被着体表面の微細なパターン等を破壊せずに、また、粘着剤を残すことなく被着体表面から剥離することができるウエハ研磨時の表面保護用粘着シートを提供すること。【解決手段】本発明に係るウエハ保護用粘着シートは、基材と、その上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とからなり、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、該官能基に反応する置換基を有する不飽和基含有化合物とを反応させることによって得られる、エネルギー線硬化型共重合体からなることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

基材と、その上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とからなるウエハ保護用粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、該官能基に反応する置換基を有する不飽和基含有化合物とを反応させることによって得られる、エネルギー線硬化型共重合体からなることを特徴とするウエハ保護用粘着シート。

IPC (3)：

H01L 21/304 321 , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JLJ

FI (3)：

H01L 21/304 321 B , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JLJ

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

エネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物およびその利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-160297 Applicant：リンテック株式会社
放射線硬化型粘着剤組成物および該組成物を用いてなる粘着テープもしくはシート
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-155846 Applicant：日東電工株式会社
特開平1-251737

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Cited by examiner (4)

エネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物およびその利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-160297 Applicant：リンテック株式会社
放射線硬化型粘着剤組成物および該組成物を用いてなる粘着テープもしくはシート
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-155846 Applicant：日東電工株式会社
特開平1-251737

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