感放射線性樹脂組成物溶液

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992198742
Publication number (International publication number)：1994043651
Application date： Jul. 24, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明の感放射線性樹脂組成物溶液は、組成物溶液中の酸成分の含有量が1×10-3ミリ当量/g以下の範囲に調整されており、微細パターン形成用のレジストとして好適に使用される。【効果】本発明によれば、現像液による膨潤がなく、現像性、パターン形状、フォーカス許容性、耐熱性、パターン忠実度、リソグラフィープロセス安定性などに優れ、高感度かつ高解像度で様々な放射線源に対応できるレジストとして好適な感放射線性樹脂組成物溶液を得ることができる。

Claim (excerpt)：

(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)感放射線性酸形成剤、および(3)(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、そして酸の存在下で分解されて(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性制御効果を低下もしくは消失する性質または(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する性質を発現する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物溶液において、酸成分の含有量が1×10-3ミリ当量/g以下の範囲に調整されていることを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物溶液。

IPC (3)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-134347
特開平2-177031
特開平4-158363

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