感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992073169
Publication number (International publication number)：1993232706
Application date： Feb. 25, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)感放射線性酸形成剤、(3)(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、そして酸の存在下で分解されて(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性制御効果を低下もしくは消失する性質または(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する性質を発現する化合物、および(4)含窒素塩基性化合物より構成されるポジ型感放射線性樹脂組成物あるいは(1)、(2)、(4)は上記と同じで(3)酸の存在下で(1)のアルカリ可溶性樹脂を架橋する化合物より構成されるネガ型感放射線性樹脂組成物。【効果】現像性、パターン形状、解像度、接着性、フォーカス許容性および残膜性に優れ、安定性も良好であり、特にエキシマーレーザーなどの遠紫外線以下の波長の放射線の照射にも好適に使用される感放射線性樹脂組成物を提供する。

Claim (excerpt)：

(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)感放射線性酸形成剤、(3)(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、そして酸の存在下で分解されて(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性制御効果を低下もしくは消失する性質または(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する性質を発現する化合物、および(4)含窒素塩基性化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/038 505 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平3-033747
特開平3-223861
特開平3-223857

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