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J-GLOBAL ID：200903078036723984

ウェーハハンドリングロボット

Inventor：
力田 直樹

About 力田 直樹

, 
乾 信一郎

About 乾 信一郎


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002093108
Publication number (International publication number)：2003297895
Application date： Mar. 28, 2002
Publication date： Oct. 17, 2003
Summary：
【要約】【課題】 集積回路用基板の自動識別を容易に行う。【解決手段】 集積回路用基板1を、表面に、外部から入力される特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回路2を有する構成とする。ロボット21を、集積回路用基板1を保持するウェーハ保持部と、ウェーハ保持部を移動させるアームと、アームを駆動する駆動装置と、アームに設けられるアンテナ24と、アンテナ24を利用して電磁波を放出する発信装置Sと、アンテナ24を利用して集積回路用基板1の共振回路2が発する共振波を受信する受信装置Rと、受信装置Rが受信した共振波の解析を行う解析装置32とを有する構成とする。解析装置32を、受信装置Rが受信した共振波の特性から共振回路2の共振の特性を解析し、この共振の特性から集積回路用基板1の固有の情報を検出する構成とする。
Claim (excerpt)：
外部から入力される特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回路を有しこの共振回路の共振の特性によって固有の情報を表す構成の集積回路用基板を取り扱うウェーハハンドリングロボットであって、前記集積回路用基板を保持するウェーハ保持部と、該ウェーハ保持部を移動させるアームと、該アームを駆動する駆動装置と、前記アームに設けられるアンテナと、該アンテナを利用して電磁波を放出する発信装置と、前記アンテナを利用して前記集積回路用基板の共振回路が発する共振波を受信する受信装置と、該受信装置が受信した共振波の解析を行う解析装置とを有し、該解析装置は、前記受信装置が受信した前記共振波の特性から前記共振回路の共振の特性を解析し、この共振の特性から前記集積回路用基板の固有の情報を検出することを特徴とするウェーハハンドリングロボット。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  B25J 15/08
FI (2)：
H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 U
F-Term (23)：
3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007KS08 ,  3C007KV18 ,  3C007KW00 ,  3C007KX07 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA36 ,  5F031GA45 ,  5F031JA09 ,  5F031JA50 ,  5F031JA51 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02 ,  5F031PA05 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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