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J-GLOBAL ID：200903006904628313
搬送ロボットを用いたクリーンルームの物品搬送管理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
斎藤 春弥 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996135712
Publication number (International publication number)：1997295707
Application date： May. 07, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 クリーンルームにおけるカセット等を迅速、的確に搬送管理できる物品搬送管理方法。【解決手段】 加工/処理品を搭載して無人搬送されるカセット1b及びカセットの搭載物の所定位置に装着する電子モジュール10Aを備えると共に、電子モジュールと通信する無線通信機能と地上局22Aを搬送ロボット30の所定位置に備え、電子モジュール10Aの記憶機能に、カセット1b及びカセットの搭載物を特定するコード等の情報を記録し、搬送ロボット30の地上局22Aが読み取った情報によって、搭載物の次工程に対する搬送管理をするようにした。この場合、搬送ロボット30は、カセット1bを一時保管する出庫用として用い、情報通信機能によって移送装置の上位管理装置又は制御装置に接続される。
Claim (excerpt)：
クリーンルームにおける加工/処理品を搭載して無人搬送されるカセット及び/又は該カセットの搭載物の所定位置に装着する無線通信機能と記憶機能を有する電子モジュールを備えると共に、上記電子モジュールと通信する無線通信機能と該無線通信機能によって上記電子モジュールの記憶機能の記憶内容を読み出す機能を有する地上局を搬送ロボットの所定位置に備え、上記電子モジュールの記憶機能に、上記カセット及び/又は該カセットの搭載物を特定するコード等の情報等を記録し、上記搬送ロボットの地上局が読み取った上記情報によって、該搭載物の次工程に対する搬送管理をするようにしたことを特徴とするクリーンルームの物品搬送管理方法。
IPC (4)：
B65G 1/137
, B65G 1/00 501
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B65G 1/137 A
, B65G 1/00 501 C
, B65G 49/07 C
, H01L 21/68 A
