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J-GLOBAL ID：200903078192044140

感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターンの形成方法

Inventor：
谷津 克也

About 谷津 克也


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 酒井 宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003342252
Publication number (International publication number)：2005107314
Application date： Sep. 30, 2003
Publication date： Apr. 21, 2005
Summary：
【課題】液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子などの電子部品の保護膜や層間絶縁膜の形成に好適な感光性樹脂組成物に望まれる「透明性、耐熱性、平坦性に優れた保護膜や層間絶縁膜が形成できる上に、塗布性に優れ、現像性にも優れることから大型の基板であっても均一な被膜が容易に形成でき、保存安定性がよい」という特性をより一層向上させた感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(a)不飽和カルボン酸または不飽和カルボン酸無水物とエポキシ基含有重合性不飽和化合物の共重合体、(b)スチレンおよび/またはスチレン誘導体の単量体単位と不飽和有機酸の単量体単位とを必須とする重合体、(c)キノンジアジド基含有化合物および(d)有機溶媒とを少なくとも構成分とし、前記(b)の重合体の組成比の平均値から3%より外れた組成比の重合体の該(b)の重合体に対する含有割合を20質量%以下とする。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
(a)不飽和カルボン酸または不飽和カルボン酸無水物とエポキシ基含有重合性不飽和化合物の共重合体、(b)スチレンおよび/またはスチレン誘導体の単量体単位と不飽和有機酸の単量体単位とを必須とする重合体、(c)キノンジアジド基含有化合物および(d)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物であって、 前記(b)の重合体の組成比の平均値から3%より外れた組成比の重合体の該(b)の重合体に対する含有割合が20質量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022
FI (3)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/022
F-Term (17)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CC03 ,  2H025DA19 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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