Pat
J-GLOBAL ID:200903059064557262
感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 洋子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996327699
Publication number (International publication number):1998153854
Application date: Nov. 22, 1996
Publication date: Jun. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 特に、反射型TFT型液晶ディスプレイ等の、低消費電力型液晶ディスプレイの層間絶縁層のパターン形成や、絶縁ペーストパターン、導電ペーストパターンの形成等に好適な、透明性、耐熱性、硬化性に優れた感光性樹脂組成物およびパターン形成方法を提供する。【解決手段】 (1)アルカリ可溶性アクリル系高分子バインダー、(2)キノンジアジド基含有化合物、(3)架橋剤、および(4)光酸発生剤を含有させて感光性樹脂組成物とし、さらに、該感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥後、マスクパターンを介して選択的に露光、現像してポジ画像パターンを形成し、次いで加熱することにより該ポジ画像パターンを架橋硬化させてパターンを形成する。
Claim (excerpt):
(1)アルカリ可溶性アクリル系高分子バインダー、(2)キノンジアジド基含有化合物、(3)架橋剤、および(4)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6):
G03F 7/004 503
, G03F 7/004
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/022 601
, G03F 7/033
, G03F 7/40 501
FI (6):
G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/004 503 A
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/022 601
, G03F 7/033
, G03F 7/40 501
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-192140
Applicant:住友化学工業株式会社
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マイクロレンズ用感光材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-315003
Applicant:東ソー株式会社
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ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-073613
Applicant:東京応化工業株式会社
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光重合性組成物及び感光性平版印刷版
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-329989
Applicant:コニカ株式会社, 三菱化学株式会社
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ブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-018611
Applicant:住友化学工業株式会社
-
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-065454
Applicant:日本合成ゴム株式会社
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Cited by examiner (10)
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ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-192140
Applicant:住友化学工業株式会社
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マイクロレンズ用感光材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-315003
Applicant:東ソー株式会社
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ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-073613
Applicant:東京応化工業株式会社
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光重合性組成物及び感光性平版印刷版
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-329989
Applicant:コニカ株式会社, 三菱化学株式会社
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ブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-018611
Applicant:住友化学工業株式会社
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感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-065454
Applicant:日本合成ゴム株式会社
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感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-036458
Applicant:日本合成ゴム株式会社
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熱硬化型感光材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-289147
Applicant:東ソー株式会社
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高感度の高解像度i-線ホトレジスト
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-144327
Applicant:チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
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パターンの保持方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-196871
Applicant:住友化学工業株式会社
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