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J-GLOBAL ID：200903059064557262

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法

Inventor：
羽田 英夫

About 羽田 英夫

, 
駒野 博司

About 駒野 博司


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 長谷川 洋子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996327699
Publication number (International publication number)：1998153854
Application date： Nov. 22, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：
【要約】【課題】 特に、反射型TFT型液晶ディスプレイ等の、低消費電力型液晶ディスプレイの層間絶縁層のパターン形成や、絶縁ペーストパターン、導電ペーストパターンの形成等に好適な、透明性、耐熱性、硬化性に優れた感光性樹脂組成物およびパターン形成方法を提供する。【解決手段】 (1)アルカリ可溶性アクリル系高分子バインダー、(2)キノンジアジド基含有化合物、(3)架橋剤、および(4)光酸発生剤を含有させて感光性樹脂組成物とし、さらに、該感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥後、マスクパターンを介して選択的に露光、現像してポジ画像パターンを形成し、次いで加熱することにより該ポジ画像パターンを架橋硬化させてパターンを形成する。
Claim (excerpt)：
(1)アルカリ可溶性アクリル系高分子バインダー、(2)キノンジアジド基含有化合物、(3)架橋剤、および(4)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/40 501
FI (6)：
G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/004 503 A ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/40 501
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (10)
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