X線透過検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤英彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002157092
Publication number (International publication number)：2003344312
Application date： May. 30, 2002
Publication date： Dec. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】上面からの一方向だけからの透視画像により、迅速かつ実用的に十分な内容の判定ができ、自動検査に適したX線透過検査装置を提供する。【解決手段】 X線源4によってプリント基板1上からLSI2の半田接合部にX線を照射し、半田接合部を透過したX線透過画像をカメラ5で撮影し、CPU10はX線透過画像から階調画像を作成し、所定レベルの面積と基準となる面積とを比較して、半田の過多,過小を判別し、半田接合部とプリント基板2の接合部とのずれ,半田接合部内に空洞があること,隣接する半田接合部同士が短絡されていること,残された画像があれば、ごみと判定するなど半田接合部の状態を自動検査する。

Claim (excerpt)：

大規模集積回路を基板に半田付したときの球状の半田接合部をX線により検査するX線透過検査装置であって、前記基板上から前記大規模集積回路の半田接合部にX線を照射するX線源と、前記半田接合部を透過したX線透過画像を撮影する撮影手段と、前記撮影手段から出力される半田接合部のX線透過画像から階調画像を作成し、所定レベルで2値化した画像の面積と基準となる面積とを比較して、半田の過多,過少を判別する画像解析手段を備えたことを特徴とする、X線透過検査装置。

F-Term (10)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 2G001PA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

X線検査方法及びX線検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-266519 Applicant：松下電器産業株式会社
特開平4-359447
X線によるプリント基板の検査方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-018458 Applicant：株式会社神戸製鋼所

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