パタ-ン欠陥検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996125591
Publication number (International publication number)：1997312318
Application date： May. 21, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は高感度のパタ-ン欠陥検査を高速でかつ誤検出割合を増大させることなしに行うのに適したパタ-ン欠陥検査装置を提供することにある。【課題解決手段】ウエハ5は電子ビ-ム2で走査され、それによって生じる二次電子信号は画像メモリ10に記憶され、その記憶された信号はディスプレイ12を輝度変調する。これによって、ディスプレイ12にはウエハのパタ-ン画像が表示される。画像メモリ12には参照パタ-ン画像が予め記憶されており、この画像と検出されウエハパタ-ン画像は比較され、その差がウエハパタ-ンの欠陥として検出される。前記の電子ビ-ムによるウエハの走査は任意の特定された部分だけが走査とされ、これによって前記目的を達成するようにしている。

Claim (excerpt)：

プロ-ブで試料面上を走査し、それによって得られる前記試料面上に形成されたパタ-ンの情報にもとづいてそのパタ-ンの欠陥を検査するパタ-ン欠陥検査装置において、前記プロ-ブによる前記試料面上の走査を、その面上の任意に特定された部分について行うようにしたことを特徴とするパタ-ン欠陥検査装置。

IPC (6)：

H01L 21/66 , G01B 15/00 , G01N 37/00 , G01R 31/26 , G01R 31/302 , G06T 7/00

FI (7)：

H01L 21/66 J , G01B 15/00 B , G01N 37/00 F , G01R 31/26 J , G01R 31/28 L , G06F 15/62 405 A , G06F 15/70 455 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭59-154020
特開平3-235949
特開昭63-210606

Show all

Return to Previous Page