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J-GLOBAL ID：200903078377761221

X線による厚さ測定方法及びX線厚さ測定装置

Inventor：
鈴木 貴志

About 鈴木 貴志


Applicant, Patent owner：
アンリツ株式会社

About アンリツ株式会社


Agent (1)： 西村 教光 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001154288
Publication number (International publication number)：2002350120
Application date： May. 23, 2001
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：
【要約】【課題】 被測定物のX線透過量に基づき、所定の式から被測定物の厚さを算出して、被測定物の厚さ測定の容易かつ簡便化を図る。【解決手段】 X線厚さ測定装置は、測定パラメータを設定する測定パラメータ設定部10と、被測定物Wを透過する透過X線を検出するX線検出部4と、透過データyを導出するデータ処理部と、透過データから透過X線量Iを算出する透過X線量算出部と、測定パラメータ及び透過X線量に基づき被測定物Wの厚さxを算出する厚さ演算部と、を具備する。X線発生部3とX線検出部4との間の被測定物Wに、X線発生部3からX線を曝射し、曝射された被測定物Wを透過した透過X線をX線検出部4で検出し、検出された透過X線量Iに基づき、単位透過領域ごとに被測定物Wの厚さを所定の式から算出する。
Claim (excerpt)：
X線発生部(3)とX線検出部(4)との間の被測定物(W)に、前記X線発生部からX線を曝射し、該曝射された前記被測定物を透過した透過X線を、前記X線検出部で検出し、前記検出された透過X線量(I)に基づき、前記被測定物の厚さ(x)を下記の式から算出することを特徴とするX線による厚さ測定方法。【数1】但し、I0 は曝射X線量、Iは透過X線量、μm は質量吸収係数、ρは被測定物の密度
IPC (2)：
G01B 15/02 ,  G01N 23/08
FI (2)：
G01B 15/02 A ,  G01N 23/08
F-Term (23)：
2F067AA27 ,  2F067CC00 ,  2F067EE10 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067LL03 ,  2F067NN02 ,  2F067RR12 ,  2F067RR24 ,  2F067RR29 ,  2F067TT06 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001EA08 ,  2G001GA01 ,  2G001HA01 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001KA11 ,  2G001LA01 ,  2G001PA11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 特開昭62-194410
  • 放射線厚さ測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-058399   Applicant：株式会社東芝
  • 特開昭62-194410
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