電子部品の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森下武一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998208157
Publication number (International publication number)：2000040633
Application date： Jul. 23, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】導体パターンの直流抵抗値が小さく、かつ、導体パターンの寸法精度のばらつきが小さい小型の電子部品を得る。【解決手段】セラミック基板11上に付与されたポジ型感光性絶縁材料をフォトマスク30を通して露光した後、現像してポジ型感光性絶縁材料の露光部分を除去し、スパイラル溝13を有するライン間絶縁層14を形成する。ライン間絶縁層14の上及びスパイラル溝13内にネガ型感光性導電材料16を膜状に付与して同じフォトマスク30を用いて露光して未露光部分を除去し、コイル導体パターンを形成する。

Claim (excerpt)：

絶縁基板上に絶縁材料を膜状に付与した後、前記絶縁材料の所定の部分を除去してパターン溝を有するライン間絶縁層を形成する工程と、導電材料を前記パターン溝に充填すると共に前記ライン間絶縁層の上に膜状に付与した後、前記導電材料の所定の部分を除去し、前記パターン溝の位置に前記ライン間絶縁層の表面から突出した導体パターンを形成する工程と、を備えたことを特徴とする電子部品の製造方法。

IPC (3)：

H01F 41/04 , H01F 17/00 , H05K 3/06

FI (3)：

H01F 41/04 C , H01F 17/00 B , H05K 3/06 H

F-Term (15)：

5E062DD04 , 5E070AA01 , 5E070AB02 , 5E070AB06 , 5E070BA01 , 5E070CB03 , 5E339AB06 , 5E339AD01 , 5E339BB02 , 5E339BC10 , 5E339BD07 , 5E339BE11 , 5E339CD01 , 5E339CF15 , 5E339FF02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭63-015491
高周波用コイルおよびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-195241 Applicant：日本電信電話株式会社

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