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J-GLOBAL ID：200903078624916160

ガラス基板の表裏欠陥識別方法

Inventor： 武田 正臣 ,  愛甲 健二 ,  加藤 昇
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996087050
Publication number (International publication number)：1997258197
Application date： Mar. 18, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ガラス基板の欠陥を検出し、これが表面と裏面のいずれに存在するかを識別する。【解決手段】 ガラス基板1に対してほぼ45°の入射角でレーザビームLT を投射して、表面に光スポットSP を、また表面で屈折したレーザビームLT により、裏面に光スポットSP'をそれぞれ形成し、これらが一定間隔をなすので、光表面の欠陥KH の散乱光SH と、裏面の欠陥KR の散乱光SR とを、CCDセンサの特定の2素子eH,eR にそれぞれ結像して、2素子の欠陥信号DH,DR の有無により、欠陥KH と欠陥KR とを識別する。

Claim (excerpt)：

液晶パネル用のガラス基板の、TFTを形成する表面に存在する欠陥KH と、裏面に存在する欠陥KR を識別対象とし、投光系により該ガラス基板に対してほぼ45°の入射角でレーザビームLT を投射して、該表面に光スポットSP を形成し、該表面で屈折した該レーザビームLT により、該裏面に光スポットSP'を形成し、該投光系と対称的に、ほぼ45°の受光角に設けた受光系の空間フィルタにより、該両光スポットSP,SP'の、該表面と裏面による正反射光LH,LR を遮断し、該光スポットSP の位置にある欠陥KH の散乱光SH と、該光スポットSP'の位置にある欠陥KR の散乱光SR を、結像レンズにより、CCDイメージセンサの、該両光スポットSP,SP'に対応する2個の特定の素子eH,eR に結像し、該両素子eH,eR がそれぞれ出力する欠陥信号DH,DR の有無を、それぞれ"1" 、 "0" として、下記の各識別条件: (DH : "1" ,DR : "0" );KH .........条件(1) (DH : "1" ,DR : "1" );KH .........条件(2) (DH : "0" ,DR : "1" );KR .........条件(3)により、前記ガラス基板の表面の欠陥KH と裏面の欠陥KR とを識別することを特徴とする、ガラス基板の表裏欠陥識別方法。

IPC (2)：

G02F 1/1333 500 ,  G01N 21/88

FI (3)：

G02F 1/1333 500 ,  G01N 21/88 D ,  G01N 21/88 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭52-014477
  
• 特開平3-276005
  
• 光学的内部検査援助装置及びその方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-024852   Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特表平6-510856