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J-GLOBAL ID：200903078704771210

物品のための保護フィルム及び方法

Inventor： フー,イン-フェン ,  トウ,ジェイムズ シー.
Applicant, Patent owner： ザ ダウ ケミカル カンパニー
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994515123
Publication number (International publication number)：1996505186
Application date： Oct. 05, 1993
Publication date： Jun. 04, 1996
Summary：

【要約】コーティングされた基材を調製する方法が開示される。この基材は、Si、O、C及びHを特定の原子比で含む、プラズマで生じさせたポリマーで被覆され、このポリマーは一定の官能基も含む。プラズマ重合プロセスにおいては106〜108J/kgのパワー密度を使用する。

Claim (excerpt)：

プラズマ反応帯域でのオルガノシリコーンモノマーガスと酸素ガスのプラズマに支援される化学気相成長を利用し、当該オルガノシリコーンモノマーをプラズマ重合させることにより、基材の表面に耐磨耗性のコーティングを備える方法であって、過剰の酸素ガスが存在すると同時に、基材の存在下で106〜108J/kgの範囲内のパワー密度を使用することを特徴とする方法。

IPC (5)：

C23C 16/50 ,  C09D183/04 PMM ,  G02B 1/10 ,  G11B 7/24 537 ,  H05H 1/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特公平2-049386
  
• プラズマCVD装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-253775   Applicant：日新電機株式会社