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J-GLOBAL ID：200903078837491333

シート状コネクターおよびその製造方法並びにプローブ装置

Inventor：
佐藤 克己

About 佐藤 克己

, 
井上 和夫

About 井上 和夫


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003358105
Publication number (International publication number)：2004172588
Application date： Oct. 17, 2003
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：
【課題】 径が小さく、突出高さ/径が高く、寸法精度の高い表面電極部を有する電極構造体を、高い位置精度で形成でき、小さいピッチの電極に対しても安定な電気的接続状態が確実に得られるシート状コネクターおよびその製造方法並びにプローブ装置の提供。【解決手段】 本発明のシート状コネクターは、絶縁性シートと、絶縁性シートに面方向に互いに離間して配置された、突起状の表面電極部および裏面電極部が短絡部によって互いに連結されてなる複数の電極構造体とを有し、絶縁性シートは、エッチングによって貫通孔の形成が可能な材料よりなり、短絡部は、絶縁性シートにエッチングによって形成された貫通孔に金属が充填されることによって形成され、表面電極部は、絶縁性シートの表面に形成されたレジスト膜のパターン孔に、金属が充填されることによって形成されたものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
絶縁性シートと、 この絶縁性シートにその面方向に互いに離間して配置された、当該絶縁性シートの表面に露出する突起状の表面電極部および当該絶縁性シートの裏面に露出する裏面電極部が、当該絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなる複数の電極構造体と を有するシート状コネクターであって、 前記絶縁性シートは、エッチングによって貫通孔を形成することが可能な材料よりなり、 前記電極構造体における短絡部は、前記絶縁性シートにエッチングによって当該短絡部に対応するパターンに従って形成された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔の各々に、金属が充填されることによって形成されたものであり、 前記電極構造体における表面電極部は、前記絶縁性シートの表面に当該表面電極部に対応するパターンに従って形成されたパターン孔を有するレジスト膜における当該パターン孔に、金属が充填されることによって形成されたものであることを特徴とするシート状コネクター。
IPC (4)：
H01L21/66 ,  G01R1/06 ,  G01R31/28 ,  H01R11/01
FI (4)：
H01L21/66 B ,  G01R1/06 E ,  H01R11/01 501H ,  G01R31/28 K
F-Term (21)：
2G011AA09 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AA20 ,  2G132AB01 ,  2G132AB03 ,  2G132AE30 ,  2G132AF10 ,  2G132AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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