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J-GLOBAL ID：200903078972520076

試料画像表示装置

Inventor：
小池 紘民

About 小池 紘民


Applicant, Patent owner：
株式会社トプコン

About 株式会社トプコン


Agent (1)： 西脇 民雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993293112
Publication number (International publication number)：1995073840
Application date： Nov. 24, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 微小離散領域からの微弱検出信号に基づく画像を連続領域からの検出信号に基づく画像に重ねて表示させたとしても微小離散領域からの微弱検出信号に基づく画像を連続領域からの検出信号に基づく画像に埋もれることなく、微小離散領域からの微弱検出信号に基づく画像を識別可能に表示させることのできる試料画像表示装置を提供することを目的とする。【構成】試料画像表示装置は、照射線を相対移動させて試料を走査する走査照射系3、照射により試料の連続領域からの第1検出信号を検出する第1検出部7、照射により試料の微小離散領域からの微弱第2検出信号を検出する第2検出部9、第2検出部の第2検出信号に基づくピクセルサイズが第1検出信号に基づくピクセルサイズに対して拡大されるように第2検出信号を処理する信号処理部16、第1検出信号と信号処理部により処理された第2検出信号とを合成して重ね合わせ画像信号を形成する画像信号形成部17、重ね合わせ画像信号に基づき試料の画像を表示する画像表示部19を有する。
Claim (excerpt)：
試料に照射される照射線を相対移動させて該試料を走査する走査照射系と、前記照射線の照射により前記試料の連続領域から得られる第1検出信号を検出する第1検出部と、前記照射線の照射により前記試料の微小離散領域から得られる微弱な第2検出信号を検出する第2検出部と、前記第2検出部が検出した前記第2検出信号に基づくピクセルサイズが前記第1検出信号に基づくピクセルサイズに対して拡大されるように第2検出信号を処理する信号処理部と、前記第1検出部の第1検出信号と前記信号処理部により処理された第2検出信号とを合成して重ね合わせ画像信号を形成する画像信号形成部と、前記重ね合わせ画像信号に基づき試料の画像を表示する画像表示部とを有することを特徴とする試料画像表示装置。
IPC (3)：
H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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