物理現象および/または化学現象の検出装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤本英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998017821
Publication number (International publication number)：1999201775
Application date： Jan. 14, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】同一またはほぼ同一の時刻で、同一またはほぼ同一の場所において生じている複数の物理現象および/または化学現象を把握することができる物理現象および/または化学現象の検出装置を提供すること。【解決手段】半導体基板2の一方の面に、二以上の物理現象および/または化学現象の電気的信号を少なくともほぼ同時に取り込むための物理現象および/または化学現象を検出する現象検出部7を設けている。

Claim (excerpt)：

半導体基板の一方の面に、二以上の物理現象および/または化学現象の電気的信号を少なくともほぼ同時に取り込むための物理現象および/または化学現象を検出する現象検出部を設けたことを特徴とする物理現象および/または化学現象の検出装置。

IPC (14)：

G01D 5/18 , G01J 1/02 , G01K 7/01 , G01L 9/00 , G01N 21/00 , G01N 27/00 , G01N 27/414 , G01N 29/00 , G01N 30/00 , G01P 15/08 , G01R 33/02 , H01L 27/14 , H01L 29/84 , H01L 37/02

FI (14)：

G01D 5/18 A , G01J 1/02 Y , G01L 9/00 Z , G01N 21/00 B , G01N 27/00 J , G01N 29/00 , G01N 30/00 Z , G01P 15/08 Z , G01R 33/02 Z , H01L 29/84 A , H01L 37/02 , G01K 7/00 391 M , G01N 27/30 301 Z , H01L 27/14 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

特開平2-242121
特開昭63-263773
複合薄膜センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-270620 Applicant：三菱重工業株式会社, 北陸電気工業株式会社

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Cited by examiner (6)

特開平2-242121
特開昭63-263773
複合薄膜センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-270620 Applicant：三菱重工業株式会社, 北陸電気工業株式会社

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