金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 西山雅也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004086729
Publication number (International publication number)：2005272921
Application date： Mar. 24, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：

【課題】従来のμmオーダーの精度限界を超えた高い精度で、基材の材質や形状を限定することなく、種々の金属の炭化物被膜を形成できる金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法を提供する。【解決手段】真空容器内に、基材、フラーレン、金属酸化物を配置する工程、真空容器内を真空に維持し、かつフラーレンの昇華温度以上かつ金属酸化物の昇華温度未満に加熱することにより、昇華したフラーレン分子を基材表面に吸着させるフラーレン昇華・吸着工程、および真空容器内を金属酸化物の昇華温度以上に加熱することにより、昇華した金属酸化物分子を基材表面に吸着しているフラーレン分子に反応させ、基材表面のフラーレン分子吸着領域に金属炭化物微細粒子から成る被膜を生成させる金属酸化物昇華・反応工程を含むことを特徴とする金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

下記の工程: 真空容器内に、基材、フラーレン、金属酸化物を配置する工程、真空容器内を真空に維持し、かつフラーレンの昇華温度以上かつ金属酸化物の昇華温度未満に加熱することにより、昇華したフラーレン分子を基材表面に吸着させるフラーレン昇華・吸着工程、および真空容器内を金属酸化物の昇華温度以上に加熱することにより、昇華した金属酸化物分子を基材表面に吸着しているフラーレン分子に反応させ、基材表面のフラーレン分子吸着領域に金属炭化物微細粒子から成る被膜を生成させる金属酸化物昇華・反応工程、を含むことを特徴とする金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法。

IPC (4)：

C23C14/06 , B82B3/00 , C01B31/34 , C23C14/24

FI (4)：

C23C14/06 B , B82B3/00 , C01B31/34 , C23C14/24 S

F-Term (38)：

4C097AA03 , 4C097BB01 , 4C097CC03 , 4C097CC14 , 4C097EE01 , 4C097EE20 , 4C097MM04 , 4C097MM08 , 4C097SC03 , 4G146MA08 , 4G146MB03 , 4G146MB21 , 4G146NA05 , 4G146NA12 , 4G146NA24 , 4G146NB07 , 4G146NB08 , 4G146NB09 , 4G146NB12 , 4G146NB15 , 4G146PA12 , 4G146PA17 , 4K029AA04 , 4K029AA21 , 4K029BA34 , 4K029BA43 , 4K029BB01 , 4K029BB02 , 4K029BB03 , 4K029BC02 , 4K029CA01 , 4K029DB01 , 4K029DB05 , 4K029DB11 , 4K029DB17 , 4K029EA08 , 4K029FA05 , 4K029GA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-067385 Applicant：東洋炭素株式会社

Cited by examiner (1)

特公昭63-048164

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Low temperature deposition of epitaxial titanium carbide on MgO(001) by co-evaporation of C60 and Ti

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