物質表面検査装置及び物質表面検査方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996031423
Publication number (International publication number)：1997203617
Application date： Jan. 24, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】精度良く表面検査を行い得る物質表面検査装置及び物質表面検査方法を実現し難かつた。【解決手段】被検査物質の被検査面にレーザ光を集光して照射し、被検査物質の被検査面におけるレーザ光の反射光に基づいて被検査物質の被検査面上の変位位置を検出すると共に、当該反射光に基づいてレーザ光の被検査物質の被検査面からのデフオーカス量を検出し、当該検出結果に基づいて変位位置の変位量を検出するようにしたことにより、被検査物質の被検査面の状態をより正確に検査することができ、かくして精度良く表面検査を行い得る物質表面検査装置及び物質表面検査方法を実現できる。

Claim (excerpt)：

レーザ光を発射するレーザ光源と、上記レーザ光を被検査物質の被検査面に集光する集光手段と、上記レーザ光の上記被検査物質の上記被検査面における反射光に基づいて、上記レーザ光の上記被検査物質の上記被検査面からのフオーカスのずれ量を検出する第1の検出手段と、上記反射光に基づいて上記被検査物質の上記被検査面上の変位位置を検出する一方、上記第1の検出手段の検出結果に基づいて上記変位位置の変位量を検出する第2の検出手段とを具えることを特徴とする物質表面検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 , G01N 21/88

FI (2)：

G01B 11/24 C , G01N 21/88 G

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開平1-269037
特開平3-296934
被検査物の欠陥高さ測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-252075 Applicant：アドモンサイエンス株式会社, 日本フェローフルイディクス株式会社

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Cited by examiner (3)

特開平3-296934
被検査物の欠陥高さ測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-252075 Applicant：アドモンサイエンス株式会社, 日本フェローフルイディクス株式会社
被検出材の表面プロフィール検出方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-252263 Applicant：住友金属工業株式会社

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