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J-GLOBAL ID：200903079199768272

光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットおよびその製造方法

Inventor：
川口 行雄

About 川口 行雄


Applicant, Patent owner：
ティーディーケイ株式会社

About ティーディーケイ株式会社


Agent (1)： 石井 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998252058
Publication number (International publication number)：2000064035
Application date： Aug. 21, 1998
Publication date： Feb. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 光記録ディスクの量産化のために、干渉膜としての特性を満たし、低抵抗であり、DCスパッタ法によって成膜できる光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットと、その製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットは、カルコゲン化物とガラスとを含み、電気抵抗値が0.001〜0.1Ω・cmである。
Claim (excerpt)：
光記録ディスク用の干渉膜をDCスパッタ法により形成する際に用いられるターゲットであって、カルコゲン化物とガラスとを含み、電気抵抗値が0.001〜0.1Ω・cmである光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲット。
IPC (2)：
C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531
FI (2)：
C23C 14/34 A ,  G11B 7/26 531
F-Term (11)：
4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  5D121AA03 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE13 ,  5D121EE17 ,  5D121EE19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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