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J-GLOBAL ID：200903079233171744

同軸プローブおよび該同軸プローブを用いた走査型マイクロ波顕微鏡

Inventor： 大久保 紀雄 ,  児玉 紀行 ,  菊池 浩昌 ,  内藤 裕一
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000119516
Publication number (International publication number)：2001305039
Application date： Apr. 20, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 試料・探針間の距離を原子間力顕微鏡で一般的なレベルまで接近あるいは接触させて、表面凹凸に沿った電気インピーダンスの測定を可能とする。【解決手段】 同軸ケーブル108の中心導体107に導電性センサー109を平面導波路101を介して電気的に接続し同軸共振器を構成している。前記平面導波路101は、基板101aと、前記基板101aに形成されたストリップライン101bから構成されている。前記導電性センサー109は、片持ち梁構造のカンチレバー109aと、カンチレバー109aの自由端に設けられた探針109bとの組合せから構成されている。前記カンチレバー109aの一端はストリップライン101bの一端に電気的に接続され、ストリップライン101bの他端は同軸ケーブル108の中心導体107に電気的に接続されている。

Claim (excerpt)：

同軸ケーブル側或いは同軸コネクターの中心導体に平面導波路を介して導電性センサーを電気的に接続し同軸共振器を構成することを特徴とする同軸プローブ。

IPC (3)：

G01N 13/16 ,  G01B 15/04 ,  G01N 13/20

FI (3)：

G01N 13/16 A ,  G01B 15/04 ,  G01N 13/20 A

F-Term (10)：

2F067AA45 ,  2F067AA46 ,  2F067EE04 ,  2F067HH02 ,  2F067JJ02 ,  2F067KK08 ,  2F067LL00 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ04 ,  2F067SS02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• トンネル顕微鏡及び原子間力顕微鏡両用探針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-336681   Applicant：株式会社アドバンテスト