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J-GLOBAL ID：200903079235799708

静電容量式加速度センサ

Inventor： 大谷 浩 ,  山口 靖雄
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996241680
Publication number (International publication number)：1998090299
Application date： Sep. 12, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 配線に伴う寄生容量の影響を小さくし、加速度を正確に検出することができる静電容量式加速度センサを得る。【解決手段】 面内変位の静電容量式加速度センサにおいて、シリコン基板から形成された、可動電極及び固定電極を有するセンサ部と、挟持するように該センサ部に接合された一対の保護基板と、センサ部の静電容量から加速度を検出するICとを備え、センサ部には、該ICと接続するために形成された各接続用電極が一方の上記保護基板側に設けられると共に、一方の保護基板には、各接続用電極上に貫通穴を設けて電極穴がそれぞれ形成され、ICは、各電極穴を形成した保護基板上に固着されると共に、各電極穴に挿通してセンサ部の各接続用電極とそれぞれ電気的に接続される。

Claim (excerpt)：

加速度による慣性力によって変位する可動電極と、固定電極との間の静電容量から加速度を検出する、面内変位の静電容量式加速度センサにおいて、シリコン基板から形成された、上記可動電極及び固定電極を有するセンサ部と、挟持するように該センサ部に接合された一対の保護基板と、上記センサ部の静電容量から加速度を検出するICとを備え、上記センサ部は、該ICと接続するために形成された各接続用電極が一方の上記保護基板側に設けられると共に、該一方の保護基板には、上記各接続用電極上に貫通穴を設けて電極穴がそれぞれ形成され、上記ICは、該各電極穴を形成した保護基板上に固着されると共に、上記各電極穴に挿通して上記センサ部の各接続用電極とそれぞれ電気的に接続されることを特徴とする静電容量式加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 慣性力センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-160171   Applicant：三菱電機株式会社