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J-GLOBAL ID：200903040310919753

慣性力センサおよびその製造方法

Inventor： 番 政広 ,  平田 善明
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994160171
Publication number (International publication number)：1996032090
Application date： Jul. 12, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 耐衝撃性に優れ、低価格、高感度、高信頼性の慣性力センサを得ること。【構成】 質量体と梁とアンカーとが一体形成されたものからなる振動体と、2つの固定電極とを備えた構造体を同一ウエハから作り、2つの固定電極は質量体と梁とを挟み込み、かつ質量体と梁とは基板に対し空隙を有して位置し、かつアンカーと2つの固定電極とを基板に接合することにより、慣性力による質量体の変位を電気的に検出できるようにした。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板に接合し、かつ(110)面を有する単結晶シリコンからなるウエハを(111)面方向に沿ってエッチングすることにより作られた構造体とを備え、該構造体は、前記基板に対し空隙を有して位置する質量体と、該質量体を支持し、かつ前記基板に対し空隙を有して位置する梁と、該梁を支持し、かつ前記基板に接合するアンカーとを備えた振動体、および前記質量体の側面に位置する固定電極を備え、前記質量体を可動電極とし、該可動電極の変位を電気的に検出することを特徴とする慣性力センサ。

IPC (2)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/125

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

• 特開昭62-174978
  
• 特表平5-503994
  
• 半導体加速度センサの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-147075   Applicant：日産自動車株式会社
• 特開平4-288879
  
• 加速度センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-276319   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平3-205565
  
• 特開平2-119270
  
• 容量型センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-188115   Applicant：豊田工機株式会社, トヨタ自動車株式会社
• 半導体力学センサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-273202   Applicant：日本電装株式会社