分子膜の製造方法および製造装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：池内寛幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997301527
Publication number (International publication number)：1998180179
Application date： Nov. 04, 1997
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】少なくともシラン系化合物と溶媒からなる溶液を用いて基材とシラン系化合物間で脱離反応を起こさせてシロキサン結合を形成し、基材上に膜厚1μm以下0.1nm以上の範囲の分子膜を形成する。【解決手段】表面に活性水素を有する基材(2)の表面に、例えばクロロシラン系化合物を含む塗布溶液を塗布し、基材表面の活性水素と前記シラン系化合物のクロル基との間で脱塩化水素反応を起こさせ、基材表面にシラン系化合物を共有結合させる分子膜の製法において、低水蒸気濃度雰囲気状態に保持されているチャンバー(11)内に、前記基材を送り込み、転写装置(6,7)を用いて、前記基材の表面にシラン系化合物と溶媒とを含む塗布溶液を塗布し、前記基材表面の活性水素と前記シラン系化合物のクロル基との間で脱塩化水素反応を起こさせ、その後チャンバー内または外で前記塗布後の未反応塗布溶液を除去する。

Claim (excerpt)：

表面に活性水素を有する基材の表面に、少なくともクロル基、アルコキシ基及びイソシアネート基から選ばれる少なくとも一つの反応基を持つシラン系化合物を含む塗布溶液を塗布し、基材表面の活性水素と前記シラン系化合物の反応基との間で脱離反応を起こさせ、基材表面にシラン系化合物を共有結合させる分子膜の製造方法において、低水蒸気濃度雰囲気状態に保持されているチャンバー内に、前記基材を送り込み、転写装置を用いて、前記基材の表面にシラン系化合物と溶媒とを含む塗布溶液を塗布し、前記基材表面の活性水素と前記シラン系化合物の反応基との間で脱離反応を起こさせ、その後チャンバー内または外で前記塗布後の未反応塗布溶液を除去することを特徴とする分子膜の製造方法。

IPC (8)：

B05D 1/28 , B01D 69/12 , B01D 71/70 , B05C 1/02 102 , B05D 1/32 , B05D 3/00 , B05D 7/24 302 , C03C 17/32

FI (8)：

B05D 1/28 , B01D 69/12 , B01D 71/70 , B05C 1/02 102 , B05D 1/32 Z , B05D 3/00 F , B05D 7/24 302 Y , C03C 17/32 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-256466
撥水撥油性基材及び基材表面の撥水撥油処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-194266 Applicant：松下電器産業株式会社
フロロカーボン系コーテイング膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-247971 Applicant：松下電器産業株式会社

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