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J-GLOBAL ID：200903079456817123

レジスト組成物

Inventor： 清水 茂 ,  遠藤 賢史 ,  高柳 恭之
Applicant, Patent owner： 日東化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993199886
Publication number (International publication number)：1995311459
Application date： Jul. 20, 1993
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 従来のセロソルブ系溶媒に溶解したレジスト組成物に比べて、低毒性で安全性が高く、塗布ムラや塗れ残りがなく、且つ長期保存時の微粒子の発生や特性変化のない優れた性能のレジスト組成物を提供することにある。【構成】 β-アルコキシイソ酪酸エステル類にアルカリ可溶性樹脂および感放射線性化合物を溶解してなるレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂および感放射線性化合物をβ-アルコキシイソ酪酸エステル類に溶解してなることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-368950
  
• フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-170199   Applicant：三菱化成株式会社
• 特開平4-328747