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J-GLOBAL ID：200903079470346869

マイクロレンズ用感光材料

Inventor： 堤 義高 ,  上村 輝久 ,  長谷川 正積
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315003
Publication number (International publication number)：1995168359
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 固体撮像素子、液晶表示素子の製造時に用いられるマイクロ集光レンズ材料を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール系共重合体の一部を水素添加した樹脂、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性及び耐溶剤性を付与できる熱硬化剤並びに溶剤からなるマイクロレンズ用感光材料。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、感光剤、熱硬化剤及び溶剤からなるマイクロレンズ用感光材料において、該アルカリ可溶性樹脂がビニルフェノール系共重合体の一部を水素添加した樹脂からなり、該感光剤が1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルからなり、さらに加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性及び耐溶剤性を付与させる熱硬化剤を含有することを特徴とするマイクロレンズ用感光材料。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  C08F 2/44 MDY ,  G02B 1/04 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平3-223702
  
• ポジ型ホトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-073613   Applicant：東京応化工業株式会社
• 特開平4-352101
  
• 特開平2-103048
  
• 特開平2-004254
  
• 特開平1-103604