Pat
J-GLOBAL ID:200903079563274604
ファン・フィルタ・ユニット
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999200154
Publication number (International publication number):2001025624
Application date: Jul. 14, 1999
Publication date: Jan. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 ケミカルフィルタ内蔵型FFUを設置したクリーンルーム中の化学物質の除去効率を向上させる目的で、ケミカルフィルタの通過空気量を増加させクリーンルーム循環空気量を増加させると、空気循環用に必要な空間が増大し、同時に空気の循環経路が長くなり空気圧力損失が多くなることでファンの電力消費量が多くなる。【解決手段】 ケミカルフィルタ内蔵型FFU10のケミカルフィルタ1の後段に、ファン3へのバイパス部2を構成し、ケミカルフィルタ1を通過した空気の一部を塵除去フィルタ4を通過させることなくファン3に循環させることで、冷却コイル23や空気循環用空間24を通過することなくファン3に達するため、空気圧力損失が低減されファンを駆動するモータの電力消費量を低減できるとともに、空気循環用空間24の削減も図ることができる。
Claim (excerpt):
少なくとも吸入口より吸入した空気を吹出す送気ファンとこの送気ファンにより吹出された前記空気を通過させて前記空気中の化学物質と塵埃をそれぞれ除去するケミカルフィルタと塵除去フィルタとを含むファン・フィルタ・ユニット(以下、FFUとする)であって、前記ケミカルフィルタを通過した空気の一部を前記塵除去フィルタを通過させることなく前記送気ファンに戻すバイパス部を有することを特徴とするFFU。
IPC (2):
FI (2):
B01D 46/00 F
, F24F 7/06 C
F-Term (14):
3L058BE02
, 3L058BF01
, 3L058BG01
, 3L058BG03
, 3L058BG04
, 4D058JA12
, 4D058JA14
, 4D058KB12
, 4D058KC02
, 4D058NA01
, 4D058NA02
, 4D058QA01
, 4D058QA23
, 4D058SA04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
特開昭53-083172
-
クリーンルームシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-254846
Applicant:高砂熱学工業株式会社
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