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J-GLOBAL ID:200903079709642988
マイクロポンプ及びその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998257827
Publication number (International publication number):2000087862
Application date: Sep. 11, 1998
Publication date: Mar. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 本発明は小型で安価なマイクロポンプとその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】 流体の加圧を行う圧力室と、該圧力室と連通して構成される流入口及び流出口とを有し、該圧力室、該流入口、該流出口の側面を囲うようにして形成される圧力室側壁と、該圧力室、該流入口、該流出口の圧力室側壁に囲われていない一方の面を覆うようにして形成される圧力室上板と、該圧力室、該流入口、該流出口の圧力側壁に囲われていない他方の面に形成され、少なくとも一部が板厚方向に振動するダイアフラムとを有するマイクロポンプにおいて、前記圧力室上板の圧力室が構成される面の少なくとも一部に流出口に向かって傾斜をなしている傾斜壁が形成されている。
Claim (excerpt):
流体の加圧を行う圧力室と、該圧力室と連通して構成される流入口及び流出口とを有し、該圧力室、該流入口、該流出口の側面を囲うようにして形成される圧力室側壁と、該圧力室、該流入口、該流出口の圧力室側壁に囲われていない一方の面を覆うようにして形成される圧力室上板と、該圧力室、該流入口、該流出口の圧力側壁に囲われていない他方の面に形成され、少なくとも一部が板厚方向に振動するダイアフラムとを有するマイクロポンプであって、前記圧力室上板の前記圧力室が構成される面の少なくとも一部に前記流出口に向かって傾斜をなしている傾斜壁が形成されていることを特徴とするマイクロポンプ。
IPC (2):
FI (2):
F04B 43/04 B
, B62D 57/00 B
F-Term (13):
3H077AA01
, 3H077AA11
, 3H077BB10
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE34
, 3H077EE36
, 3H077FF03
, 3H077FF12
, 3H077FF22
, 3H077FF34
, 3H077FF36
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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ダイアフラム型容積型ポンプ
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平6-518895
Applicant:ステーメ,エリック, ステーメ,ゲーラン
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特開平2-264111
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印刷版の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-053475
Applicant:凸版印刷株式会社
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インクジェット記録ヘッド
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-317834
Applicant:富士電機株式会社
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特開平2-264111
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特開平2-264111
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