表面欠陥検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002313262
Publication number (International publication number)：2003202302
Application date： Dec. 21, 1993
Publication date： Jul. 18, 2003
Summary：

【要約】【目的】被検体表面の塵埃,膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。【構成】表面に薄膜を有する被検体21の直前に配置され、かつ21の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源1からの光を略平行な光束として21に照射するとともに、21の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ12と、12の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、12に光を入射する狭帯域光源2〜5と、この光源からの光を反射または透過により12を通過させて21に垂直に照射させるハーフミラー11と、21の表面からの正反射光を12に通過させ、11で透過または反射させ、光源2〜5と共役な位置に入射瞳を有し、21の表面を観察する結像レンズ13を具備したもの。

Claim (excerpt)：

光源と、この光源からの光を略平行な光束として被検体の表面に照射する照射手段と、この照射手段からの光束を被検体の表面に照射することによりこの被検体の表面から正反射または散乱される光を集光する集光手段と、この集光手段を介して前記被検体の表面を観察する観察手段と、を具備した表面欠陥検査装置。

IPC (6)：

G01N 21/958 , G01B 11/06 , G01B 11/30 , G01N 21/84 , G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (6)：

G01N 21/958 , G01B 11/06 G , G01B 11/30 A , G01N 21/84 E , G01N 21/956 A , H01L 21/66 J

F-Term (56)：

2F065AA30 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065BB05 , 2F065CC17 , 2F065DD02 , 2F065EE03 , 2F065EE08 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG16 , 2F065GG22 , 2F065HH03 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL03 , 2F065LL06 , 2F065LL20 , 2F065LL22 , 2F065NN01 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2F065UU01 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB20 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051BB17 , 2G051BC04 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC09 , 2G051CD05 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051ED01 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB12 , 4M106DB15 , 4M106DB19

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特開平1-318908
特開平1-143904
検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-127883 Applicant：芳賀一実

Cited by examiner (4)

特開平1-318908
特開平1-318908
特開平1-143904

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