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J-GLOBAL ID：200903079737419402

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 鈴木 亜紀 ,  庭田 弘一 ,  横山 健一 ,  小林 英一
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000340798
Publication number (International publication number)：2002202603
Application date： Nov. 08, 2000
Publication date： Jul. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 遠紫外線や荷電粒子線に代表される放射線に対して、高感度(低露光エネルギー量)で、解像性能に優れるとともに、ナノエッジラフネスが小さい化学増幅型レジストとして好適に使用することができる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(1)で表される化合物および下記式(2)で表される化合物の群から選ばれる感放射線性酸発生剤、並びに(B)p-(1-エトキシエトキシ)スチレン等に代表されるアセタール基含有スチレン誘導体とp-ヒドロキシスチレンとの共重合体を含有する。【化1】【化2】〔式(1)および式(2)において、R1 およびR2 はアルキル基、フルオロアルキル基またはフッ素置換されていてもよいアリール基を示す。〕

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される化合物および下記式(2)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種からなる感放射線性酸発生剤【化1】〔式(1)において、R1 は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のフルオロアルキル基またはフッ素置換されていてもよい炭素数6〜11のアリール基を示す。〕【化2】〔式(2)において、各R2 は相互に独立に炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のフルオロアルキル基またはフッ素置換されていてもよい炭素数6〜11のアリール基を示す。〕並びに(B)下記式(3)で表される繰返し単位と下記式(4)で表される繰返し単位とを有する樹脂【化3】〔式(3)において、R3 はメチル基またはエチル基を示し、R4 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕【化4】を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/36 ,  C08L 25/18 ,  C09K 3/00 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/36 ,  C08L 25/18 ,  C09K 3/00 K ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (16)：

2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BF15 ,  2H025BG00 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J002BC121 ,  4J002EB106 ,  4J002EV236 ,  4J002EV296 ,  4J002EV306 ,  4J002FD146

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-030912   Applicant：ジェイエスアール株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• New Photoacid Generators