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J-GLOBAL ID：200903079789297747

多段型電子冷却ユニットおよび温度制御ステージ

Inventor： 嶋田 英志 ,  梅本 和伸 ,  浮田 明生
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 机 昌彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002057273
Publication number (International publication number)：2003258324
Application date： Mar. 04, 2002
Publication date： Sep. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】複数のペルチェモジュールを積み重ねて単一の電源の出力を供給した場合、ペルチェモジュールがたとえ同一品種のものであっても、試料に近いペルチェモジュールの駆動電流を放熱側のペルチェモジュールの駆動電流よりも少なくする。【解決手段】熱電変換素子をマトリクス状に配列し、絶縁物で挟みこんで構成したペルチェモジュール1a,1b,1c,1dを複数積み重ねた構造の多段型電子冷却ユニットあるいはこれを用いた温度制御ステージにおいて、試料側のペルチェモジュール1a,1bを電気的に並列接続し、これに放熱側のペルチェモジュール1c,1dを電気的に直列接続する。

Claim (excerpt)：

熱電変換素子をマトリクス状に配列し、絶縁物で挟みこんで構成した複数のペルチェモジュールを複数段に積み重ねた構造の多段型電子冷却ユニットにおいて、前記ペルチェモジュール間の結線関係によって冷却される試料に近い位置のペルチェモジュールほど駆動電流が少なくなるようにしたことを特徴とする多段型電子冷却ユニット。

IPC (4)：

H01L 35/32 ,  F25B 21/02 ,  H01L 23/38 ,  H01L 35/28

FI (4)：

H01L 35/32 Z ,  F25B 21/02 A ,  H01L 23/38 ,  H01L 35/28 C

F-Term (4)：

5F036AA01 ,  5F036BA33 ,  5F036BB05 ,  5F036BF01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 熱電変換装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-234390   Applicant：難波菊次郎
• 光センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-127611   Applicant：浜松ホトニクス株式会社