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J-GLOBAL ID：200903079811246922

半導体製造装置の管理システム

Inventor：
玉木 誠

About 玉木 誠


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999068903
Publication number (International publication number)：2000269108
Application date： Mar. 15, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 半導体の製造工程ラインを安定して稼働させるとともに、突発的な不良の原因を解明する。【解決手段】 半導体の製造工程ラインの各製造装置にセンサ1を設け、管理情報を常時収集する。判定器6にて、収集された管理情報が時系列の測定値パターンとして、予め登録されている設定値パターンと比較される。判定器6での比較の結果、測定値パターンの設定値パターンからの逸脱が検出された場合、指令発生器8が異常の発生を提示するとともに、測定値パターンの設定値パターンからの逸脱を解消するように、製造装置のシーケンスの調整を指令する。
Claim (excerpt)：
半導体の製造工程ラインに設けられた製造装置から管理情報を常時収集するセンサと、該センサによって収集された管理情報を時系列の測定値パターンとして監視するとともに、該測定値パターンと該管理情報に応じて予め登録されている設定値パターンとを比較する監視手段と、該監視手段での比較の結果、該測定値パターンの該設定値パターンからの逸脱が検出された場合、異常の発生を提示する警報手段とを備えていることを特徴とする半導体製造装置の管理システム。
IPC (2)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/205
FI (2)：
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/205
F-Term (11)：
5F045AA08 ,  5F045AC01 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045BB20 ,  5F045CA15 ,  5F045GB04 ,  5F045GB05 ,  5F045GB06 ,  5F045GB07 ,  5F045GB16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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