干渉計

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩橋祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004245196
Publication number (International publication number)：2006064451
Application date： Aug. 25, 2004
Publication date： Mar. 09, 2006
Summary：

【課題】低可干渉性の光源を用いた干渉計において、バイアス成分を低減して干渉縞信号をS/N比よく取得する干渉計を提供する。【解決手段】光源112と、光源112からの光束の一部を参照光とし、残りの光束を被検面130aに照射する測定光とするための参照手段114と、光源112からの光束、もしくは参照光と被検面130aで反射した測定光とを再び重ね合わせた計測光束に対し、該光束の直交する2つの直線偏光成分間に光路長差Bを与える光路長調整手段118と、参照光および/または測定光から特定方向の直線偏光成分を除去するための除去手段120と、計測光束に含まれる参照光および測定光から共通の偏光成分を抽出して、参照光と測定光とを干渉させる偏光成分抽出手段128と、干渉縞を撮像する撮像手段116と、を備え、光路長調整手段118にて光路長差Aが相殺されない直線偏光の成分を、参照光および/または測定光から除去する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光束の一部を参照光とし、残りの光束を被検面に照射する測定光とするための参照手段と、前記参照光と前記被検面にて反射した測定光との干渉によって生じる干渉縞を撮像する撮像手段と、を備え、前記撮像手段によって撮像された干渉縞情報から前記被検面の形状を測定する干渉計において、前記光源からの光束、もしくは前記参照光と前記被検面にて反射した測定光とを再び重ね合わせた計測光束に対し、該光束の直交する2つの直線偏光成分間に光路長差Bを与える光路長調整手段と、前記参照光および/または測定光から特定方向の直線偏光成分を除去するための除去手段と、前記計測光束に含まれる参照光および測定光から共通の偏光成分を抽出して、参照光と測定光とを干渉させる偏光成分抽出手段と、を備え、前記光路長調整手段は、参照光が辿る光路長と測定光が辿る光路長との間の光路長差Aを、前記光路長調整手段にて与えられる光路長差Bによって相殺して、参照光の一つの直線偏光成分と、それに直交する測定光の直線偏光成分との間の光路長差を前記光源の可干渉距離より小さくし、前記計測光束を前記偏光成分抽出手段を通すことで干渉光を生じさせ、前記除去手段により、前記光路長調整手段にて光路長差Aが相殺されない直線偏光の成分を、前記参照光および/または測定光から除去することを特徴とする干渉計。

IPC (2)：

G01B 9/02 , G01B 11/24

FI (2)：

G01B9/02 , G01B11/24 D

F-Term (38)：

2F064AA09 , 2F064AA15 , 2F064CC03 , 2F064CC04 , 2F064DD08 , 2F064EE05 , 2F064FF03 , 2F064GG04 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG33 , 2F064GG42 , 2F064GG52 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F064JJ06 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG07 , 2F065HH09 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065LL33 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065UU07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

面間隔測定方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-270000 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
米国特許第4872755号明細書
干渉計装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-063502 Applicant：富士写真光機株式会社

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