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J-GLOBAL ID:200903079818377690
圧電素子の製造方法及びそれにより製造された圧電素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997073414
Publication number (International publication number):1998270771
Application date: Mar. 26, 1997
Publication date: Oct. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 表面に凹部を有し、厚さが不均一な圧電材料を簡便に、均一に分極する。【解決手段】 表面に凹部を有し、厚さが不均一な圧電部材の該凹部に、圧電部材の誘電率と略等しい誘電率を有する充填剤を充填して厚さを均一にし、厚さ方向に垂直な対向する面に電極を形成して分極する工程を有する圧電素子の製造方法、及び、この方法にて製造された圧電素子。
Claim (excerpt):
表面に凹部を有し、厚さが不均一な圧電部材の該凹部に、圧電部材の誘電率と略等しい誘電率を有する充填剤を充填して厚さを均一にし、厚さ方向に垂直な対向する面に電極を形成して分極する工程を有することを特徴とする圧電素子の製造方法。
IPC (2):
FI (2):
H01L 41/22 B
, H01L 41/18 101 D
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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インクジェットプリンタヘッドの製作方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-052129
Applicant:東京電気株式会社
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特開昭58-066997
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