アクチュエータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：増田達哉 , 朝比一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003369545
Publication number (International publication number)：2005137102
Application date： Oct. 29, 2003
Publication date： May. 26, 2005
Summary：

【課題】低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角(振幅)の大きいアクチュエータを提供すること。【解決手段】2自由度振動系のアクチュエータであって、第1の質量部1、11と、第2の質量部2と、支持部3と、第1の質量部1、11と支持部3とを、第1の質量部1、11が支持部3に対して回動可能となるように連結する、少なくとも1対の第1の弾性連結部4と、第1の質量部1、11と第2の質量部2とを、第2の質量部2が第1の質量部1、11に対して回動可能となるように連結する、少なくとも1対の第2の弾性連結部5、5とを有し、交流電圧を印加することによって、第1の質量部1、11が駆動し、それに伴い第2の質量部2が回動するものであり、第1の質量部1は、第2の質量部2を介して、第2の質量部2の一端側に設けられ、第1の質量部11は、第2の質量部2の他端側に設けられていることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

2自由度振動系のアクチュエータであって、 1対の第1の質量部と、第2の質量部と、支持部と、前記各第1の質量部と前記支持部とを、前記各第1の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも1対の第1の弾性連結部と、前記各第1の質量部と前記第2の質量部とを、前記第2の質量部が前記各第1の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも1対の第2の弾性連結部とを有し、交流電圧を印加することによって、前記各第1の質量部が駆動し、それに伴い前記第2の質量部が回動するものであり、前記1対の第1の質量部の一方は、前記第2の質量部を介して、前記第2の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第2の質量部の他端側に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (1)：

H02N1/00

FI (1)：

H02N1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

2自由度振動型マイクロアクチュエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-078915 Applicant：工業技術院長
特許第3003429号

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