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J-GLOBAL ID：200903080022542698

荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法

Inventor： 猪口 正幸
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社 ,  日本電子システムテクノロジー株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997109041
Publication number (International publication number)：1998300450
Application date： Apr. 25, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 比較的短時間に多数のホールの状態を検査することができる荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法を実現する。【解決手段】 試料4に形成されたコンタクトホールの内、基準となるコンタクトホールH1 を基点とした各コンタクトホールの位置のデータに基づき、制御装置11は偏向制御回路7を制御し、電子ビームEBを各コンタクトホールの中心部分に飛び飛びに偏向する。この電子ビームの偏向は、2段の偏向コイル5,6によって行われるが、その際、ビームシフトと呼ばれる機能により電子ビームは偏向される。

Claim (excerpt)：

多数のホールが形成された試料に荷電粒子ビームを照射し、ホール部分への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号に基づいてホールの状態を検査する検査方法において、試料に形成されたホールの位置データに基づき、荷電粒子ビームをホール部分に飛び飛びに偏向し、各ホール部分のみに荷電粒子ビームを照射するようにした荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法。

IPC (3)：

G01B 15/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01B 15/00 B ,  H01J 37/28 A ,  H01L 21/66 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 走査型電子顕微鏡による計測方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-150128   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭62-062207
  
• 特開昭62-062207