熱型赤外線検出素子とその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996315985
Publication number (International publication number)：1998163539
Application date： Nov. 27, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】複数の赤外線検出素子においても動作温度の変動による信号電圧のドリフトを完全に相殺するため、熱分離構造を有する複数の画素のうち一部の画素に対して赤外吸収率をほぼゼロにした赤外線撮像素子を提供する。【解決手段】赤外線に対して感度を有する第一の画素領域6と、赤外線に対して感度を有さない第二の画素領域7を有し、前記第一及び第二の画素領域は少なくとも読出回路を有する下層部と、少なくとも絶縁体膜8,11にはさまれた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜10を有する上層部とからなり、前記上層部と下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造になっており、かつ絶縁体膜上または絶縁体膜中の電極9により電気的に接続されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子である。

Claim (excerpt)：

赤外線に対して感度を有する第一の画素領域と、赤外線に対して感度を有さない第二の画素領域を有し、前記第一及び第二の画素領域は少なくとも読出回路を有する下層部と、少なくとも絶縁体膜にはさまれた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜を有する上層部とからなり、前記上層部と下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造になっており、かつ絶縁体膜上または絶縁体膜中の電極膜により電気的に接続されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子。

IPC (3)：

H01L 37/00 , G01J 1/02 , H01L 27/14

FI (3)：

H01L 37/00 , G01J 1/02 C , H01L 27/14 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

熱型赤外線固体撮像素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-061743 Applicant：日本電気航空宇宙システム株式会社, 日本電気株式会社
赤外線センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-006003 Applicant：テルモ株式会社, 木村光照
赤外線検出装置およびその封止方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-266480 Applicant：松下電工株式会社

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