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J-GLOBAL ID：200903080251053676

走査型測定機のドリフト補正方法

Inventor： 粕川 敦彦 ,  篠原 慎二 ,  中山 康雄 ,  後藤 達也
Applicant, Patent owner： 東陶機器株式会社
Agent (1)： 渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994065430
Publication number (International publication number)：1995248331
Application date： Mar. 10, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：

【要約】【目的】 従来の装置になんら特殊な機構・制御装置を付加することなく、様々な要因に基づくドリフトの補正が可能な、走査型測定機のドリフト補正方法を提供する。【構成】 本発明のドリフト補正方法は、複数の走査軸によって規定される測定空間上の走査点1〜30を走査して、各走査点の特性量を測定する走査型測定機のドリフト補正方法であって;測定空間内の走査点1〜30を、まず網羅的に走査測定して、一次測定値を得た後、測定空間内に適当に分散するように選択された補正走査点31〜35を再度走査測定して、ドリフト補正用測定値を得、このドリフト補正用測定値を用いて、一次測定値のドリフト補正を行う、ことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

複数の走査軸によって規定される測定空間上の走査点を走査して、各走査点の特性量を測定する走査型測定機のドリフト補正方法であって;測定空間内の走査点を、まず網羅的に走査測定して、一次測定値を得た後、測定空間内に適当に分散するように選択された補正走査点を再度走査測定して、ドリフト補正用測定値を得、このドリフト補正用測定値を用いて、一次測定値のドリフト補正を行う、ことを特徴とする走査型測定機のドリフト補正方法。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 5/28 101 ,  G01B 21/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-186111
  
• 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-112825   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平4-186111