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J-GLOBAL ID：200903080422315836

光軸ずれ測定方法及び光学式顕微鏡

Inventor：
野村 博

About 野村 博


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000088701
Publication number (International publication number)：2001280913
Application date： Mar. 28, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】アライメントセンサー又はオーバーレイ検査装置で使用される光学式顕微鏡の光軸ずれを簡単に測定すること。【解決手段】基板6上に、2方向以上の回折格子パターンが隣り合って配置された評価マーク14を形成し、これに照明光学系を介して照明光15を照射し、投影光学系を介して評価マーク14の像の明度を光学式顕微鏡で観察し、評価マーク14の像の明度を測定し、明度が最も大きくなる回折格子パターンの方向を求める。
Claim (excerpt)：
基板上に形成された評価マークに照明光学系を介して照明光を照射し、投影光学系を介して前記評価マークの像を観察する光学式顕微鏡の光軸ずれを測定する光軸ずれ測定方法であって、前記評価マークとして回折格子パターンで形成されたものを使用し、前記評価マークの像の明度と前記回折格子パターンの方向との関係に基づいて、前記光軸ずれを測定することを特徴とする光軸ずれ測定方法。
IPC (3)：
G01B 11/00 ,  G02B 21/36 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G01B 11/00 C ,  G02B 21/36 ,  H01L 21/30 525 R
F-Term (29)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA19 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB29 ,  2F065DD03 ,  2F065FF48 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ28 ,  2F065UU08 ,  2H052AD35 ,  2H052AF02 ,  5F046EA03 ,  5F046EA07 ,  5F046EA09 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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