Pat
J-GLOBAL ID:200903038038510684
光学系の検査装置および検査方法並びに該検査装置を備えた位置合わせ装置および投影露光装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山口 孝雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998242961
Publication number (International publication number):2000077295
Application date: Aug. 28, 1998
Publication date: Mar. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光学系の様々な収差、焦点位置、光軸ズレなどを正確に且つ簡易に検査することのできる検査装置。【解決手段】 位相パターン(WM)に照明光を照射するための照明光学系(103〜108)と位相パターンの像を結像させるための結像光学系(107〜115)とを有する光学系を検査する。この光学系を介して形成された位相パターンの像を検出するための像検出手段(116、117)と、像検出手段において検出される位相パターンの像をデフォーカスさせるためのデフォーカス手段(122)とを備えている。像検出手段において各デフォーカス状態で検出された位相パターンのエッジに対応する像の非対称性の変化に基づいて、光学系のコマ収差、光学系における光束ケラレ、および位相パターンの形成面(W)の法線に対する照明光の主光線の傾きを検査する。
Claim (excerpt):
位相パターンに照明光を照射するための照明光学系と前記位相パターンからの光束を集光して前記位相パターンの像を結像させるための結像光学系とを有する光学系を検査する検査装置において、前記光学系を介して形成された前記位相パターンの像を検出するための像検出手段と、前記像検出手段において検出される前記位相パターンの像をデフォーカスさせるためのデフォーカス手段と、前記像検出手段において各デフォーカス状態で検出された前記位相パターンのエッジに対応する像の非対称性の変化に基づいて、前記光学系のコマ収差、前記光学系における光束ケラレ、および前記位相パターンの形成面の法線に対する前記照明光の主光線の傾きを検査するための検査手段とを備えていることを特徴とする検査装置。
IPC (7):
H01L 21/027
, G01M 11/00
, G02B 13/24
, G02B 19/00
, G02B 27/52
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
FI (9):
H01L 21/30 526 A
, G01M 11/00 T
, G02B 13/24
, G02B 19/00
, G02B 27/52
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 502 V
, H01L 21/30 516 A
F-Term (37):
2G086EE12
, 2G086HH01
, 2G086HH06
, 2H052AA03
, 2H052AB14
, 2H052AB17
, 2H052AC02
, 2H052AC07
, 2H052AC31
, 2H052AF06
, 2H052BA02
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 2H087KA09
, 2H087KA21
, 2H087QA02
, 2H087QA06
, 5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F046CC05
, 5F046DA13
, 5F046DA14
, 5F046DB08
, 5F046DC10
, 5F046DC12
, 5F046EA07
, 5F046EB01
, 5F046EB02
, 5F046EC03
, 5F046FA03
, 5F046FA07
, 5F046FA10
, 5F046FB06
, 5F046FB09
, 5F046FB13
, 5F046FC04
, 5F046FC05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
-
アライメント装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-179370
Applicant:株式会社ニコン
-
位置検出装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-323514
Applicant:株式会社ニコン
-
収差計測方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-264660
Applicant:株式会社ニコン
-
光投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-280372
Applicant:株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
-
光学系の検査装置および該検査装置を備えた投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-222677
Applicant:株式会社ニコン
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-136886
Applicant:キヤノン株式会社
-
露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-173780
Applicant:株式会社ニコン
-
信号処理方法および位置検出光学系の調整方法およびターゲットパターンならびに露光方法および露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-200480
Applicant:株式会社日立製作所
-
位置検出装置及び該装置を備えた投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-020325
Applicant:株式会社ニコン
-
収差測定機
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-353755
Applicant:株式会社ニコン
Show all
Return to Previous Page