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J-GLOBAL ID：200903080423095686

酸化亜鉛膜含有青色発光体の製造方法

Inventor： 崔 源國 ,  丁 炯鎭
Applicant, Patent owner： コリア インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー
Agent (1)： 河野 登夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001366928
Publication number (International publication number)：2003105559
Application date： Nov. 30, 2001
Publication date： Apr. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】 合金化過程を経ることなく、発光効率が高い酸化亜鉛膜含有青色発光体を容易に製造することができる酸化亜鉛膜含有青色発光体の製造方法を提供する。【解決手段】 酸化アルミニウムが1〜3重量%添加された酸化亜鉛をターゲットとし、RFマグネトロンスパッタリングにより前記酸化亜鉛の構成原子をスパッタ放出させて基板上に成膜した後、該基板を熱処理装置に入れて、水素雰囲気下、温度600〜1000°Cで、3秒〜20分間熱処理を行う。

Claim (excerpt)：

ドーパントが添加された酸化亜鉛膜を基板上に成膜した後、該基板を熱処理装置に入れて、所定のガス雰囲気下で熱処理することを特徴とする酸化亜鉛膜含有青色発光体の製造方法。

IPC (5)：

C23C 26/00 ,  C09K 11/00 ,  C09K 11/54 CPB ,  H01L 21/203 ,  H01L 33/00

FI (5)：

C23C 26/00 F ,  C09K 11/00 A ,  C09K 11/54 CPB ,  H01L 21/203 S ,  H01L 33/00 D

F-Term (28)：

4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA30 ,  4H001YA13 ,  4H001YA31 ,  4H001YA49 ,  4K044AA11 ,  4K044AA13 ,  4K044AB02 ,  4K044BA10 ,  4K044BA12 ,  4K044BB16 ,  4K044CA13 ,  4K044CA62 ,  5F041CA41 ,  5F041CA50 ,  5F041CA57 ,  5F041CA73 ,  5F041CA77 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD30 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103KK10 ,  5F103LL02 ,  5F103PP03 ,  5F103RR05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 透明導電膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-208898   Applicant：日立電線株式会社