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J-GLOBAL ID：200903080548542870
紫外線センサおよび紫外線照度計
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002192836
Publication number (International publication number)：2004037173
Application date： Jul. 02, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：
【課題】測定雰囲気に影響されることなく、エキシマランプや低圧水銀ランプ等の紫外線量を正確に測定することができる紫外線センサおよび紫外線照度計を提供することを課題とする。【解決手段】内部を不活性ガス雰囲気としてなる耐紫外線キャップ1内に、紫外線受光素子を気密配置してななる紫外線センサにおいて、紫外線受光素子は、耐紫外線基板2に、短波長紫外線に感度を有するダイヤモンド薄膜光導電型受光素子3を接着搭載して構成し、また耐紫外線キャップ1の受光窓に、短波長紫外線を透過するサファイア板4を気密配置して構成してある。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
内部を不活性ガス雰囲気としてなる耐紫外線キャップ内に、紫外線受光素子を気密配置してなる紫外線センサにおいて、
前記紫外線受光素子は、耐紫外線基板に、短波長紫外線に感度を有するダイヤモンド薄膜光導電型受光素子を接着搭載して構成し、また耐紫外線キャップの受光窓に、短波長紫外線を透過するサファイア板を気密配置して構成したことを特徴とする紫外線センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
2G065AA04
, 2G065AB05
, 2G065BA02
, 2G065BA38
, 2G065CA23
, 2G065CA25
Cited by examiner (2)
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ダイヤモンド膜紫外線センサ及びセンサアレイ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-052548
Applicant：株式会社神戸製鋼所, 浜松ホトニクス株式会社
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特開昭56-093346
Article cited by the Patent：
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