有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小池隆彌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997298083
Publication number (International publication number)：1999135257
Application date： Oct. 30, 1997
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】従来、フォトリソグラフィで電極を形成する方法では、有機EL素子を構成する有機材料の特性を落としていた。また、マスクを用いて電極を堆積する方法は、パターンの微細化が困難であった。【解決手段】本発明の製造方法では、前記第一電極層あるいは第二電極層のうち少なくとも一方の電極層の形成工程が、開口部を有するマスクの開口部を介して電極構成材料を堆積させる工程と、前記マスクの位置を前記基板と相対的に移動して前記開口部を介してさらに電極構成材料を堆積させる工程あるいは前記マスクとは異なるパターンの開口部を有するマスクの開口部を介してさらに電極構成材料を堆積させる工程と、を有することによって、上記問題を解決した。

Claim (excerpt)：

基板上に、第一電極層、有機発光材料を含有するエレクトロルミネッセンス層、第二電極層を積層する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記第一電極層あるいは前記第二電極層のうち少なくとも一方の電極層を形成する工程が、開口部を有するマスクの開口部を介して電極構成材料を堆積させる工程と、前記マスクの位置を前記基板と相対的に移動して前記開口部を介してさらに電極構成材料を堆積させる工程と、を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。

IPC (3)：

H05B 33/10 , H05B 33/14 , H05B 33/26

FI (3)：

H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H05B 33/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

有機電界発光素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-094613 Applicant：東レ株式会社
発光ディスプレイパネル、その製造方法、及びその第2電極製造用マスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-136009 Applicant：パイオニア株式会社, 東北パイオニア株式会社
電極形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-272875 Applicant：カシオ計算機株式会社

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