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J-GLOBAL ID:200903080725816960
基板検査用治具および基板検査治具の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
北村 秀明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006209472
Publication number (International publication number):2008032666
Application date: Aug. 01, 2006
Publication date: Feb. 14, 2008
Summary:
【課題】 検査用プローブを簡便に装着することのできる基板検査用治具の製造方法の提供。【解決手段】 検査用プローブを検査側支持体及び電極側支持体を有する基板検査治具を製造する方法において、検査側支持体と電極側支持体との間の中間位置に、検査用プローブの線状部を案内する案内孔を有する中間板を配し、検査側支持体における検査用プローブの検査端部を所望検査点に向けて案内する検査端部案内孔と、中間位置にある中間板の案内孔と、電極側支持体における検査用プローブの電極端部を所望電極に向けて案内する電極端部案内孔とを一直線上に整合させそれら整合した各案内孔に検査用プローブを挿通し、中間板を移動して検査側支持体に接触させ、電極側支持体を、直線に対して直交する方向にずらし、検査用プローブを傾斜した状態で保持するようにしたことを特徴とする。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、基板を検査する基板検査装置の検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する弾性力を有する線状部とからなる検査用プローブを、所定の間隔を有して配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持して基板検査治具を製造する方法において、
前記検査側支持体と前記電極側支持体との間の中間位置に、前記検査用プローブの線状部を案内する案内孔を有する中間板を配し、
前記検査側支持体における検査用プローブの検査端部を所望検査点に向けて案内する検査端部案内孔と、中間位置にある前記中間板の案内孔と、前記電極側支持体における検査用プローブの電極端部を所望電極に向けて案内する電極端部案内孔とを一直線上に整合させ、
それら整合した各案内孔に検査用プローブを挿通し、
前記中間板を移動して検査側支持体に接触させ、
前記電極側支持体を、前記直線に対して直交する方向にずらし、前記検査用プローブを傾斜した状態で保持するようにしたことを特徴とする基板検査用治具の製造方法。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (12):
2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB07
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE01
, 2G011AF07
, 2G014AA01
, 2G014AB59
, 2G014AC10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
モンテカルロシミュレーションを用いたEPMA分析法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-200737
Applicant:日本軽金属株式会社
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半導体レーザおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-166933
Applicant:住友電気工業株式会社
Cited by examiner (1)
-
電気的接続装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-305628
Applicant:株式会社日本マイクロニクス
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