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J-GLOBAL ID：200903080807476776
スペクトルデータ分析のための方法及び装置とスペクトルデータ分析のために利用するコンピュータ読取り可能記憶媒体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997271050
Publication number (International publication number)：1998142054
Application date： Oct. 03, 1997
Publication date： May. 29, 1998
Summary：
【要約】【課題】 複数の検出サブアレイを有する分光測定装置の中でのスペクトルデータ分析のための新規な方法及び新規な手段を提供し、スペクトルデータを分析するために利用するコンピュータ読取り可能な記憶媒体を提供する。【解決手段】 分光測定装置が、表面の小さい部分に検出サブアレイを有する検出器を含み、第1のオフセットデータを得るために、スペクトルデータは、ドリフト標準のために第1の時間に選択されたサブアレイにおいて収集され零位置と比較され、第2のオフセットデータを得るために、データは、第2の時間にも同様に収集される。
Claim (excerpt)：
分散素子と、前記分散素子からの分散光を受信する検出器とを具備し、前記検出器は複数の検出サブアレイを有し、それぞれの前記サブアレイは前記検出器におけるそれぞれ異なる位置にある、分光測定装置の中のスペクトルデータ分析のための方法において、第1の時間に、選択されたサブアレイ位置におけるドリフト標準のための第1のスペクトルデータを収集するステップと、第1のオフセットデータを得るために前記第1のスペクトルデータを、それぞれの選択されたサブアレイのための前もって指定された零位置と比較するステップと、第2の時間に、選択されたサブアレイ位置におけるドリフト標準のための第2のスペクトルデータを収集するステップと、第2のオフセットデータを得るために前記第2のスペクトルデータを、それぞれの選択されたサブアレイにおける零位置と比較するステップと、前記第1の時間に対して任意の選択された時間に任意のサブアレイ位置におけるスペクトルシフトを得るために前記第1のオフセットデータと前記第2のオフセットデータとを利用するステップとを有することを特徴とするスペクトルデータ分析のための方法。
IPC (4)：
G01J 3/28
, G01J 3/02
, G01N 21/27
, G01N 21/73
G01J 3/28
, G01J 3/02 C
, G01N 21/27 Z
, G01N 21/73
Cited by examiner (3)
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特開平2-051030
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荷電粒子ビーム露光方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-336454
Applicant：富士通株式会社
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特開平2-051030
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